1200℃管式爐CVD系統

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產品名稱

1200℃單溫區經濟型兩路氣體CVD系統

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常規型號

SGM-O1200-50IC150-D2FH

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SGM-O1200-60IC150-D2FH

4

SGM-O1200-80IC150-D2FH

5

SGM-O1200-100IC150-D2FH

6

爐膛模式

開啟式

7

顯示模式

高亮數碼管顯示(LED)

8

爐膛材料

進口纖維

9

加熱元件

進口合金加熱絲

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極限溫度

1200℃

11

工作溫度

≤1150℃

12

升溫速率

≤20℃(建議:10℃/min)

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加熱溫區

單溫區

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溫區長度

440mm

15

恒溫區長

200mm

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爐管材質

高純石英

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爐管常規直徑

50mm

18

60mm

19

80mm

20

100mm

21

爐管長度

1000mm

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密封方式

不銹鋼真空法蘭

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氣 密 性

真空法蘭和石英爐管的氣密性*高可達4.03×10-3Pa

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控制模式

智能PID多段程序控溫

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控溫精度

±1℃

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溫度曲線

多段"時間—溫度曲線"任意可設

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預存曲線

可預存1條溫度曲線

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電流監控

指針式電流計

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電壓監控

指針式電壓計

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超溫報警

有

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過流保護

有

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斷偶提示

有

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測溫元件

K型熱電偶

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電氣認證

CE認證

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供電電源

220V 50Hz～60Hz

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整機功率

2.5KW

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氣體通道

可連接3種氣源

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流 量 計

浮子流量計

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A路量程

10～100ml/min

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B路量程

16～160ml/min

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氣路壓力

-0.1～0.15 MPa

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系統真空 

5～10Pa（需要達到其它真空度時，需選配不同的抽真空裝置）

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泵路鏈接

KF16不銹鋼波紋管、KF16卡箍、KF16擋板閥

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真 空 計

標準配置機械真空計，也可選配電子真空計

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售后服務

12個月質保，終身保修

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包裝形式

木箱或簡裝

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隨機配件

石英爐管、真空法蘭、爐管堵塞、O型密封圈、坩堝爐鉤、說明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、不銹鋼波紋管、KF轉接頭、5mm內六角扳手。

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整套尺寸

左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm